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厭氧高溫試驗箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化嫁、銀酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示實驗室等生產(chǎn)及科研部門也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
厭氧高溫試驗箱主要技術(shù)特點哪些功能？
1.溫度范圍：（環(huán)境溫度＋20）℃～200℃（可按客戶要求做）
2.升溫時間：環(huán)境溫度 → +200℃≤35min
3.氮氣導(dǎo)入：降溫過程開 兩路閥，以保持正壓狀態(tài)路氮氣，各每支路上裝有控制電磁閥和調(diào)節(jié)流量計，升溫（排氧）過程開 兩 路閥，以保障能充分排氧。
4.降溫時間：200℃～80℃時，約50分鐘
5.通訊功能：S-485 接口， 具有本地和遠(yuǎn)程通訊功能( 需配集中監(jiān)控軟件、 RS-485/RS-232 轉(zhuǎn)換器，需占用 PC 機(jī)的COM 口和USB 口各一個)；最多可同時連接 16 臺設(shè)備，電纜累計長度最大 800m
安裝場地要求：
1.地面平整，通風(fēng)良好
2.設(shè)備周圍無強(qiáng)烈振動
3.設(shè)備周圍無強(qiáng)電磁場影響
4.設(shè)備周圍無易燃、腐蝕性物質(zhì)和粉塵
5.設(shè)備周圍留有適當(dāng)?shù)氖褂眉熬S護(hù)空間，如下圖所示：A：不小于60cm B：不小于120cm C：不小于60cm D: 不小于120cm
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